Proces výroby fosfátových esterů zahrnuje hlavně následující metody:
Metoda pentoxidu fosforu: Toto je nejčastěji používaná metoda s použitím pentoxidu fosforu (P2O5) k přímému reagu s alkoholy pro esterifikaci. Tato metoda je snadná a snadno reaguje. V současné době používá tuto metodu asi 70% esterů průmyslových fosfátů.
Metoda trichloridu fosforu: Tato metoda zahrnuje tři kroky. Nejprve fosforový trichlorid (PCL3) reaguje s hydroxylovými sloučeninami při teplotě místnosti, poté hydrolyzuje a nakonec neutralizuje, aby generoval fosfátové estery. Tato metoda má také určité aplikace.
Metoda oxychloridu fosforu: fosfor oxychlorid (POCL3) se používá k reagujícím s alkoholy za účelem generování fosfátových esterů. Tato metoda má také určité aplikace.
Metoda kyseliny polyfosforečné: Kyselina polyfosforečná se používá k reakci s alkoholy pro generování fosfátových esterů.